臭氧去除装置

臭氧去除装置

区分    描述
功能    分解半导体工艺中废弃的臭氧水中的臭氧并排出
紫外线灯    125w，235.5nm（汞弧放电）
处理液体    臭氧水
臭氧水流量    ＜10L/min
最高作业温度    ＜40℃
主体材料    SUS304 + PVC
臭氧水进出    PVC (内部PFA) / PTFE 双管
臭氧缓冲罐

   材质：PVC

   容量：60L
功能    分解半导体工艺中废弃的臭氧水中的臭氧并排出

Pre:液体质量流量计
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