化学药剂配比传送系统（LFS 部件：DHF）
化学药剂配比传送系统（LFS 部件：DHF）
| 区分 | 描述 |
| 化学品 | 加工 HF + DIW |
| 混合比例 | 范围：DHF (1000:1 ~ 10:1) / 混合供应 |
| 加工温度 | 控制：25~30±0.2℃ |
| 储存罐 | 体积：≥70L * 1EA 或 120L* 2EA 清洗：DIW 清洗功能 |
| 化学品供应 | 泵：≥20 LPM |
| 浓度监测器 | 功能：RS-232C 或 RS-485 通讯；浓度监测 |
| 回收 | 方法：来自加工旋转单元 功能：选择工艺配比；防止其他化学品流入 |
| 排挤 | 方法 ：重力排挤或泵排挤(通常) |
| 化工罐 | HF(49%)：容量1L；化学药剂从生产线供应本体 |
| 功能 | 混合并供应化学药剂 |
