单片式清洗机（化学药剂）

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单片式清洗机（化学药剂）


区分
   描述
总体
   晶圆类型：12” 
   日光灯：安装（LED类型） 
   豁边：＜1.8mm 
   干燥器：用氮气旋转干燥 
   清洗：晶圆正面和背面
旋转加工单元
   配置: HF(100:1) / IPA / DIW 
旋转单元
   旋转夹头材料：不会遭受化学药剂的损坏 
   晶圆卡盘：边缘夹点 : ≤1.8mm 
   旋转速度：设定值±3rpm 
化学品腔室
   化学品加工：高频(100:1) / IPA / DIW 
   干燥晶圆：用氮气旋转干燥 
功能
   作用：旋转晶圆仅使用适当的化学药剂去除晶圆杂质
Pre:液体质量流量计
Next:离子发生装置
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