化学药剂配比传送系统（LFS-部件：IPA）

化学药剂配比传送系统（LFS-部件：IPA）

区分	描述
化学品	加工：IPA
混合比例	范围：99.99%
加工温度	控制：无
干燥晶圆	功能：氮气干燥
储存罐	体积：≥19L * 1EA/罐化学药品补给：人工
化学品供应	IPA：人工
功能	混合并供应化学药剂

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